Miután az áramkör bonyolult mintáit szilícium lapkába marták, a védő fotoreziszt maszkot-a kemény, térhálós polimer-réteget- teljesen és tisztán le kell eltávolítani. Ezt erős, agresszív szerves oldószerek forró fürdőjében érik el, amelyet gyakran száz Celsius-fok fölé melegítenek. Az illékony, korrozív vegyi anyag belsejében lévő merülő fűtőelemnek olyan anyagból kell készülnie, amelyet az oldószerek nem tudnak feloldani, megduzzadni vagy szennyezni. A PTFE kémiailag néma, inert anyag.
A PTFE fűtőelemek szerepe a fotoreziszt csupaszításban
A sztrippelőfürdő jellemzően oldószerek, például N-metil-2-pirrolidon (NMP), dimetil-szulfoxid (DMSO) és erős lúgos aminok keverékéből áll, 80–110 fokra melegítve. Ehhez az alkalmazáshoz a PTFE merülő fűtőelem a standard választás. Kémiailag inert burkolata teljesen ellenáll az agresszív oldószereknek, amelyek egyébként megtámadnák a szabványos műanyagokat és korrodálnák a fémeket.
A PTFE fűtőtest tiszta, stabil és pontos hőt biztosít anélkül, hogy fémionokat vagy más szennyeződéseket szabadítana fel, amelyek lerakódhatnak az érintetlen lapka felületén. A tapadásmentes, sima PTFE felület ellenáll az oldott fotoreziszt-maradványok felhalmozódásának, így az ismételt ciklusok során tökéletesen tiszta fűtőfelületet tart fenn. A PTFE fűtőelemes fotoreziszt szeletlehúzási folyamata egyenletes hőmérséklet-eloszlást biztosít, és minimalizálja a lokális forrást vagy ütődést, amely megzavarhatja a kényes ostyákat.
"A PTFE fűtőtest egy vegyileg csendes, forró ujj az erős oldószerek fürdőjében, amely eltávolítja a maszkot anélkül, hogy egyetlen nyomot hagyna maga után, miközben az ostya érintetlen és elektromosan hibátlan marad."
Biztonsági szempontok
Az oldószerelegy gyúlékony, mérgező, és gyakran a forráspont közelében működik. A tartály megfelelő kialakítása, beleértve a zárt burkolatokat, a földelést és a szellőzést, kötelező a tűz, a gőznek való kitettség vagy az elektrosztatikus veszélyek elkerülése érdekében. Konzervatív wattsűrűség szükséges a szabályozott fűtés fenntartásához, és elkerülhető az oldószer ütődése vagy a PTFE-köpeny helyi túlmelegedése.
Működési előnyök
A PTFE melegítők használata ebben a folyamatban lehetővé teszi:
Kémiai immunitás agresszív oldószerkeverékekkel szemben.
Az ostya abszolút tisztaságának és elektromos integritásának fenntartása.
Hosszú távú{0}}megbízhatóság korrózió és romlás nélkül.
Egyenletes, maradék{0}mentes melegítés kritikus fontosságú-a nagy hozamú félvezetőgyártáshoz.
Következtetés
A PTFE merülőfűtő a kritikus, kémiailag immunis hőforrás, amely lehetővé teszi a fotoreziszt tiszta, teljes eltávolítását a félvezető gyártás során használt lapkákról. A PTFE fűtőtest stabil, szennyeződésmentes-hőt biztosít egy rendkívül agresszív oldószerfürdőben, és biztosítja a modern mikroelektronikához elengedhetetlen atomi tisztaságot. A számítógépes chip tökéletes, hibátlan felülete a kémiai agresszió és az inert, megbízható fűtés kombinációjával érhető el.
