Félvezetőgyártó létesítményre van szükség a meghibásodott PTFE merülőfűtőelem cseréjéhez egy kompakt, nedves asztali szerszámban. A rendelkezésre álló hely egy 150 mm széles rés volt a tartály fala mentén, 400 mm mély, 100 mm-es karimás nyílással. A szükséges teljesítmény 2,5 kW volt. A szabványos katalógusfűtők vagy túl szélesek, túl hosszúak, vagy túl nagy wattsűrűségűek voltak a térhez képest. A létesítménynek szüksége volt egy egyedi fűtőelemre, amely illeszkedik a nyílásba, és biztonságos wattsűrűséggel működött.
A PTFE merülőmelegítő megadása helykorlátozott{0}}félvezető szerszámhoz más megközelítést igényel, mint egy nagy bevonattartályhoz. A helyszűke szigorúbb, a kémia gyakran agresszívabb, a hőmérsékleti egyenletesség követelményei pedig szigorúbbak. A specifikációnak egyensúlyban kell lennie a wattsűrűséggel, a felülettel és a fizikai illeszkedéssel egy nagyon kis burokban.
A térkorlát elemzése
Az első lépés a rendelkezésre álló terület pontos feltérképezése. A félvezető szerszámoknál a fűtőteret gyakran az egyik oldalon a tartály fala, a másik oldalon az ostyahordozó útja és alatta a tartály alja határozza meg. A rendelkezésre álló térfogat szabálytalan alakú lehet, amelyet egy szabványos fűtőtest nem tud betölteni.
A legfontosabb méretek a maximális szélesség, a maximális mélység, a maximális magasság és a mozgó alkatrészektől való távolság. A karima nyílása határozza meg a behelyezhető fűtőelem maximális átmérőjét. A bemerítési mélység határozza meg a felhasználható fűtött hosszt.
| Dimenzió | Tipikus megszorítás | A fűtőberendezés tervezésére gyakorolt hatás |
|---|---|---|
| Elérhető szélesség | 100-200 mm | Korlátozza a fűtőelem szélességét |
| Elérhető mélység | 300-500 mm | Korlátozza a fűtött hosszt |
| Karima nyílás | 80-150 mm | Korlátozza a fűtőelem behelyezését |
| Merítési mélység | 200-400 mm | Korlátozza a fűtött hosszt |
| Engedélyezés a szállítóhoz | 50-100 mm | Korlátozza a kiemelkedést |
Helyszűke félvezető nedves asztali szerszámokban
Watt-sűrűség és felület számítása
A 2,5 kW teljesítmény 1,0 W/cm² biztonságos wattsűrűség mellett 2500 cm² köpenyfelületet igényel. Egy helykorlátos eszközben ennek a felületnek a eléréséhez kompakt több-menetes konfigurációra van szükség.
50 mm-es köpenyátmérőnél 2500 cm²-hez 1592 mm-es fűtött hosszúság szükséges. 400 mm mély tartályban, 300 mm használható merüléssel, ami hat darab, egyenként 265 mm-es áthaladást jelent. A több-áteresztő köteg körülbelül 300 × 250 mm-es alapterületen belül elfér.
| Köpeny átmérője | Felületi terület 100 mm-enként | Fűtött hossz 2500 cm² | 300 mm-en halad át | Lábnyom |
|---|---|---|---|---|
| 32 mm | 100 cm² | 2500 mm | 9 | 300 × 250 mm |
| 40 mm | 126 cm² | 1984 mm | 7 | 300 × 220 mm |
| 50 mm | 157 cm² | 1592 mm | 6 | 300 × 200 mm |
| 63 mm | 198 cm² | 1263 cm² | 5 | 300 × 180 mm |
Több-menetes konfigurációk 2,5 kW teljesítményhez 1,0 W/cm²-en
A Multi{0}}Pass köteg behelyezése a nyílásba
A több-áteresztő kötegnek át kell illeszkednie a karima nyílásán, és bele kell illeszkednie a rendelkezésre álló nyílásba. A 200 mm széles köteg nem fér át a 100 mm-es karimanyíláson. A megoldás az, hogy a járatokat függőlegesen tájoljuk úgy, hogy a köteg egyik irányban keskeny, a másikban széles legyen, és keskeny irányban a karimán keresztül behelyezzük.
Egy köteg hat darab, 50 mm átmérőjű, egymástól 30 mm-re elhelyezett nyílásból, szélessége körülbelül 6 × 50 + 5 × 30=450 mm egyik irányban és 50 mm a másik irányban. Ha a karima nyílása 100 mm, akkor a köteg 50 mm-es mérettel a nyíláshoz igazítva helyezhető be, majd elforgatható.
| Bundle Configuration | Szélesség (passzok) | Mélység (átmérő) | 100 mm-es karimához illeszkedik | 150 mm-es nyílásba illeszkedik |
|---|---|---|---|---|
| 4 menet, 50 mm, 30 mm távolság | 290 mm | 50 mm | Igen (elforgatva) | Igen |
| 5 menet, 50 mm, 30 mm távolság | 370 mm | 50 mm | Igen (elforgatva) | Igen |
| 6 menet, 50 mm, 30 mm távolság | 450 mm | 50 mm | Igen (elforgatva) | Marginális |
| 6 menet, 40 mm, 25 mm távolság | 365 mm | 40 mm | Igen (elforgatva) | Igen |
Köteg konfigurációk és illeszkedés a karima nyílásain
Egyenletes áramlás és hőmérséklet szűk helyeken
A korlátozott hely{0}}szerszámban a fűtőberendezés körüli áramlást gyakran korlátozza a közeli tartály fala és az ostyatartó. Az áramlás egyenetlen lehet, egyik oldalon nagy, a másik oldalon alacsony sebességgel. Ez forró pontokat okozhat az alacsony-sebességű oldalon.
Egy perforált terelőlemez vagy egy áramlásvezető egyenletesebben oszthatja el az áramlást a köteg körül. A terelőlapot úgy kell megtervezni, hogy beleférjen a rendelkezésre álló térbe, és az áramlást a járatok közötti réseken keresztül irányítsa. Egy kis oktató is használható a helyi sebesség növelésére.
Anyagok és felépítés a félvezető szervizhez
A félvezető szerszámokhoz gyakran nagy{0}}tisztaságú anyagokra van szükség. A PTFE köpenynek szűz, töltetlen polimernek kell lennie, alacsony kivonhatósággal. A karima legyen tömör PTFE vagy PTFE{3}}bevonatú rozsdamentes acél. A terminálházat le kell zárni és szellőztetni kell a szennyeződés elkerülése érdekében.
A fűtőtestet beszerelés előtt meg kell tisztítani és passziválni. Bármilyen visszamaradt gyártási olaj vagy részecske szennyezheti a folyamatfürdőt.
Ha egy szabványos fűtőtest nem illeszthető be a szerszámba
Egy szabványos fűtőtest ritkán fér el a helyben korlátozott{0}}félvezető eszközhöz. A rendelkezésre álló hely túl kicsi, a forma túl szabálytalan, és a tisztasági követelmények túl szigorúak. Egyedi PTFE merülőfűtő-konfiguráció kompakt több-menetes köteggel, tömör PTFE karimával és lezárt kapocsházzal az adott szerszámhoz készült. A specifikációs folyamat megköveteli a rendelkezésre álló térméreteket, a karimanyílást, a merülési mélységet, a fürdő kémiáját, a szükséges teljesítményt és a tisztasági követelményeket.
