Egy félvezető gyárhoz egyedi PTFE merülőfűtőre volt szükség a nedvespados folyamattartályhoz. A fűtőtestet megfelelően tervezték a hőterhelésnek, a kémiának és a helyszűkületnek megfelelően. Telepítésre került és három hónapig sikeresen működött. Ezután a Fab minőségügyi osztálya dokumentációt kért a vevői audithoz. A fűtőberendezés beszállítója nem tudott biztosítani az anyagok nyomon követhetőségét, a felületkezelési tanúsítványt vagy a kivonható adatokat. A fűtőberendezést a dokumentáció beszerzéséig kivonták az üzemből.
A félvezető gyárak olyan dokumentációs és tanúsítási követelményekkel rendelkeznek, amelyek túlmutatnak a fűtőelem elektromos és hőtechnikai előírásain. A követelmények kiterjednek az anyagtisztaságra, a felületi minőségre, a kivonható anyagokra és a nyomon követhetőségre. Az egyedi PTFE merülőfűtőnek félvezetőszervizhez meg kell felelnie ezeknek a követelményeknek, és a beszállítónak be kell nyújtania az ezt igazoló dokumentációt.
Anyagkövethetőség és tisztaság
A félvezető fűtőberendezésben használt PTFE-nek visszavezethetőnek kell lennie a gyanta tételig. A szállítónak be kell nyújtania a polimerre vonatkozó elemzési tanúsítványt (CoA), amely tartalmazza a tételszámot, a gyártót, valamint a kulcsfontosságú tulajdonságokat -molekulatömeget, kristályosságot és szennyeződési szintet.
A PTFE-nek szűz, töltetlen polimernek kell lennie. Üveget, szenet vagy egyéb adalékanyagokat- tartalmazó töltött PTFE-nem elfogadható, mert a töltőanyagok beszivároghatnak a folyamatfürdőbe. A polimernek meg kell felelnie az eljárás tisztasági követelményeinek, jellemzően a meghatározott határértékek alatti extrahálható ionokkal.
| Dokumentáció | Mit tanúsít | Tipikus követelmény |
|---|---|---|
| Gyanta CoA | A tétel nyomon követhetősége, tulajdonságai | Molekulatömeg, szennyeződési szint |
| Anyagtanúsítás | Szűz PTFE, töltőanyag nélkül | 100% szűz PTFE |
| Kivonható jelentés | Ionos szennyeződés | <50 ppb per ion |
| Felületkezelési jelentés | Ra érték | <0.4 μm Ra |
| Méretvizsgálat | Tolerancia megfelelés | Rajzonként |
Anyagkövethetőségi és tisztasági dokumentáció félvezető PTFE fűtőtestekhez
Felületi kikészítés és tisztaság
A félvezető eljárásokhoz sima, tiszta felületekre van szükség, amelyek nem csapják be a részecskéket és nem bocsátanak ki szennyeződéseket. A PTFE köpeny felületi minősége legalább 0,4 μm Ra legyen. A durvább felület részecskéket tartalmazhat, és elősegítheti a biofilm képződését.
A fűtőtestet beszerelés előtt meg kell tisztítani és passziválni. A tisztítási folyamat eltávolítja a gyártási maradványokat, olajokat és részecskéket. A passziválási eljárás biztosítja, hogy a felület kémiailag inert legyen, és ne engedjen ki szennyeződéseket a folyamatfürdőbe.
A felületkezelési jelentés és a tisztítási tanúsítvány dokumentálja a fűtőtest tisztaságát. A jelentésnek tartalmaznia kell a mérési módszert, a mintavételi helyeket és az eredményeket.
Kivonható anyagok és kioldható anyagok vizsgálata
Az extrahálható anyagok tesztelése méri az ionok, szerves anyagok és részecskék kibocsátását a fűtőberendezésből a technológiai folyadékba. A teszt abból áll, hogy a fűtőtestet meghatározott ideig üzemi hőmérsékleten ultratiszta vízbe vagy reprezentatív technológiai folyadékba merítik, majd a folyadékban elemzik a szennyeződéseket.
A kivonható mennyiségek határértékei a folyamattól függenek. A kritikus félvezető folyamatok esetében a határértékek a fémek és szerves anyagok esetében az alacsony -per-milliárd tartományban lehetnek. A vizsgálati jelentés dokumentálja az eredményeket, és igazolja, hogy a fűtőkészülék megfelel a folyamatkövetelményeknek.
| Teszt | Mit mér | Tipikus limit | Módszer |
|---|---|---|---|
| Fém kivonható anyagok | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP{0}}MS |
| Szerves kivonható anyagok | TOC, specifikus szerves anyagok | <100 ppb TOC | HPLC, GC{0}}MS |
| Részecskekibocsátás | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | Folyékony részecske számláló |
| Anion kivonható anyagok | Cl⁻, F⁻, SO42⁻ | <50 ppb each | Ionkromatográfia |
Kivonható anyagok vizsgálati követelményei félvezető PTFE fűtőtestekhez
Elektromos és biztonsági tanúsítványok
A fűtőberendezésnek meg kell felelnie az épület elektromos biztonsági követelményeinek. Észak-Amerikában ez általában UL vagy ETL listázást jelent. Európában a vonatkozó irányelveknek megfelelő CE-jelölést jelent.
A terminálháznak meg kell felelnie a megfelelő behatolásvédelmi besorolásnak, -általában IP66 vagy NEMA 4X. A fűtőberendezésnek kompatibilisnek kell lennie a fab földzárlat-védelmi rendszerével.
| Tanúsítvány | Régió | Mit takar | Tipikus követelmény |
|---|---|---|---|
| UL 499 | Észak Amerika | Elektromos biztonság | Felsorolt vagy elismert |
| CE | Európa | Biztonság, EMC | Jelölés és nyilatkozat |
| IP66 | Nemzetközi | Behatolás elleni védelem | Terminálház |
| ATEX | Európa | Robbanásbiztos- | Ha gyúlékony légkör |
| SEMI S2 | Félvezető | Biztonsági irányelvek | Fab követelmény |
Elektromos és biztonsági tanúsítványok félvezető PTFE fűtőtestekhez
Nyomon követhetőségi és dokumentációs csomag
A félvezető fűtőtest dokumentációs csomagja tartalmazza az anyagtanúsítványokat, a felületkezelési jegyzőkönyvet, a kivonható anyagok vizsgálati jegyzőkönyvét, az elektromos tanúsítványokat és a méretellenőrzési jegyzőkönyvet. A csomagnak nyomon követhetőnek kell lennie az adott fűtőberendezés sorozatszámáig.
A fűtőelem átvétele előtt a csomagot a fab minőségi osztálya felülvizsgálja. A hiányos dokumentáció késleltetheti a telepítést vagy elutasítást eredményezhet.
Amikor a szabványos fűtőtestek nem felelnek meg a dokumentációs követelményeknek
A szabványos PTFE merülőmelegítőket nem szállítjuk a félvezetők szervizeléséhez szükséges dokumentációs csomaggal. A félvezető szervizre tervezett egyedi PTFE merülő fűtőelem tartalmazza a szükséges dokumentációt, tesztelést és nyomon követhetőséget. A specifikációs folyamat megköveteli a technológiai kémiát, a tisztasági követelményeket, a felületminőségi specifikációt, az extrahálható mennyiségi határértékeket és az elektromos tanúsítványokat.
